等离子去胶机使用刻蚀操作时有哪些表现?等离子去胶机工作原理介绍!
等离子去胶机使用刻蚀操作时有哪些表现?等离子去胶机工作原理介绍! 等离子去胶机在真空等离子去胶机反响室中受高频及微波能量效果,电离发生氧离子、游离态氧原子、氧分子和电子等混合的等离子体,在干法等离子去胶技术中,氧是首要腐蚀气体。等离子去胶机进行去胶操作后的表面干净光洁、没有任何的划痕、成本低、环保,并且效率高。一般在电容耦合等离子体平行板反应器上,等离子去胶机在进行刻蚀时会被应用,反应离子刻蚀腔体所采用的不对称设计是阴极面积小,阳极面积大,而需要被刻蚀的物件则是被放置到面积较小的电极之上。 等离子去胶机操作方法是平行气流方向在石英舟中插入待去胶片,并推入真空室两电极间,抽真空到1.3Pa,通入...