等离子清洗工艺中影响功率的原因（等离子清洗的温度和密度）

等离子清洗工艺中影响功率的原因（等离子清洗的温度和密度）

1、放电气压：关于低压等离子体，放电气压添加，等离子体密度越高，电子温度随之降低。而等离子体的清洗作用取决于其密度和电子温度两个方面，如密度越高清洗速率越快， 电子温度越高清洗作用越好。因而，放电气压的挑选对低压等离子体清洗工艺至关重要。　　

2、气体种类：待处理物件的基材及其外表污染物具有多样性，而不同气体放电所发生的等离子体清洗速度和清洗作用又相差甚远。因而应该有针对性地挑选等离子体的作业气体，如可选用氧气等离子体去除物体外表的的油脂尘垢，选用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。

3、放电功率：放电功率增大，可以添加等离子体的密度和活性粒子能量，因而进步清洗作用。　

4、露出时刻：待清洗资料在等离子体中的露出时刻对其外表清洗作用及等离子体作业功率有很大影响。露出时刻越长清洗作用相对越好，但作业功率降低。而且，过长时刻的清洗可能会对资料外表发生损害。　　

5、传动速度：关于常压等离子体清洗工艺，处理大物件时会涉及接连传动问题。因而待清洗物件与电极的相对移动速度越慢，处理作用越好，但速度过慢一方面影响作业功率，另一方面也可能造成处理时刻过长发生资料外表损害。　　

6、其它：等离子体清洗工艺中的气体分配、气体流量、电极设置等参数也会影响清洗作用。因而需要依据实际情况和清洗要求设定详细的、合适的工艺参数。