真空等离子清洗机之密封件、密封圈、密封垫片

真空等离子清洗机之密封件

布景技术

跟着微电子技术的不断发展，相关出产企业的比赛越来越剧烈，下降本钱、前进出产功率则是前进企业比赛力的常用方法。如LED光源出产企业为前进出产功率、下降出产本钱，在刻蚀工艺过程中选用托盘搬运的方法完成一起搬运和刻蚀多个基片。

在实践运用过程中，由于方形结构的密封圈5不易变形，使得刻蚀加工设备存在问题：Di一，基座1与托盘2不能很好地接触，从巾影响基座1与托盘2之间的热传导，导致托盘2表面温度不均匀，然后影响刻蚀工艺的稳定性，如温度较高的区域或许出现光刻胶溃散的问题。第二，密封圈5的顶部和内侧不易密封，使得背吹空间3不能很好地密封，然后导致氢气泄露，这不只影响丁艺腔室的真空度以及下降气冷的效果.而且还导致出产成木的添加.在实标使用中，虽然可以通过添加效果在托盘2上的机械力而增大密封网的变形量，但是，增大机械力又简略导致石英资料制成的机械压环4味碎，因而，增大效果在托盘上机械力的方法不能彻底处理上述问题。

为处理上述技术问题，作为本实用新型一个优选施行例，在密封圈本体内侧设置第二凸部，凭借第二凸部可以前进密封圈轴向的密封功能。类似地，本实用新型供给的等离子体加工设备，由于选用本实用新型供给的密封圈，凭借易于变形的DI一凸部和第二凸部不只可以分别前进密封圈径向和轴向的密封功能，使得背吹空间获得杰出的密封，然后可以削减因氦气泄露对工艺腔室真空度的影响，一起削减氦气的运用量，下降出产本钱。而且，DI一凸部可以使基座和托盘坚持杰出的接触，然后供给托盘表面温度的均匀性，这又使得置于托盘顶部不同方位的基片的刻蚀速度相同，前进刻蚀工艺的稳定性，前进产品的质量。

密封件的挑选是否适合，是一台真空等离子清洗机密封性好坏的要害。其实，真空等离子清洗机如何挑选适合的密封件也是有方法可循的。真空等离子清洗机上所运用的密封件从种类上分首要有3种，DI一种是O型密封圈、第二种是管路支架密封件、第三种是密封垫片。

分类

1.真空等离子清洗机上所运用的O型密封圈

O型密封圈(O-rings) 是一种截面为圆形的橡胶密封圈， 因其截面为O型， 故称其为O型橡胶密封圈。O型密封圈是机械设计中较常见的密封元件之一。首要运用在真空等离子清洗机的真空腔体与其他部件相衔接的部位，起到密封效果，比如真空腔体与真空门之间的密封、馈入电极与真空腔体之间的密封以及真空腔体与真空管路之间的密封。

2.真空等离子清洗机上所运用的管路支架密封件

管路支架密封件是一种运用于真空等离子清洗机外部管路与管路之间相衔接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起合作运用，运用时将管路支架密封件放置在管路与管路之间，然后用真空卡箍锁紧，通过真空卡箍的揉捏，使管路夹紧管路支架密封件，终究可完成密封效果。首要长处是装置起来非常方便，无需运用工具；密封功能好，首要运用在真空管路之间的衔接处上。

3.真空等离子清洗机上所运用的密封垫片

密封垫片是一种用于有流体的机械、设备所运用的密封件.密封垫片是金属或非金属的板状质料，经切开、冲压或裁剪等工艺制造而成的，首要用于机器设备的机件与机件之间的密封衔接，用于有流体的机械、设备所运用的密封件，密封垫片是金属或非金属的板状质料，经切开、冲压或裁剪等工艺制造而成的。