等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里,经过射频电源在必定的压力情况下起辉发生高能量的无序的等离子体,经过等离子体炮击被清洗产品外表,以抵达清洗意图。
在这种情况下,等离子处理能够发生以下效果:
1、灰化外表有机层
污染物在真空和瞬时高温下的部分蒸发,污染物被高能离子损坏并被真空带走。
紫外辐射损坏污染物,因为等离子体处理每秒钟只能穿透几纳米,所以污染层不应该太厚。指纹也适用。
2、氧化物去除
这种处理包括运用氢或氢和氩的混合物。有时也选用两步流程。首先是用氧气氧化外表5分钟,第二步是用氢和氩的混合物除去氧化层。它也能够一重用几种气体处理。
3、焊接
一般,印刷电路板应在焊接前用化学药剂处理。焊接后,这些化学物质必须用等离子体法去除,否则会引起腐蚀和其他问题。
扩展材料
等离子清洗/刻蚀机发生等离子体的设备是在密封容器中设置两个电极构成电场,用真空泵结束必定的真空度,跟着气体愈来愈冷漠,分子距离及分子或离子的悠闲运动距离也愈来愈长。
受电场效果,它们发生磕碰而构成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以损坏几乎一切的化学键,在任何显露的外表引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学功用,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,然后抵达清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满意刻蚀的需求。
运用等离子处理时会宣告辉光,故称之为辉光放电处理。
等离子体清洗技能的较大特点是不分处理政策的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、乃至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可结束全体和部分以及凌乱结构的清洗。
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