等离子清洗机如何清洗表面油污？等离子清洗设备保养方法！

等离子清洗机如何清洗表面油污？等离子清洗设备保养方法！

等离子去除油污与传统的湿法清洗不同，等离子清洗是干法清洗，整个进程一次性清洗，基本没有残留物，一起可进步基体表面膜的附着力，清洗工艺进程容易操控，操作简易，效率高，清洗时间、通入气体（如需）可控，按照咱们的经历，去除金属油污需要用等离子体的活性基团与油污发生化学反应，从而到达清洗的目的，咱们挑选了真空等离子清洗机作为本次测试的仪器。

金属油污清洗的判别办法本次试验采纳的是经过用移液枪滴入一滴蒸馏水到金属表面，调查比照清洗前和清洗后金属表面水滴形状和水滴铺展状况来判别油污的清洗成果，该办法方便，简单，肉眼即可清晰判别，是判别金属油污清洗作用的有用手法。

东西/质料
 
1、洁净的镊子
2、烧杯装50ml蒸馏水
3、100ul-500ul赛默飞移液枪
4、3颗重油污金属，3颗轻油污金属，3颗洁净金属
5、真空等离子清洗机

办法/步骤

首先：用镊子取出一颗重油污金属放在洁净白纸上

第二步：调理移液枪在100ul刻度，吸取烧杯中的蒸馏水，慢慢地滴一滴蒸馏水在重油污金属上，调查水滴形状和铺展状况

第三步：用镊子取出第二颗重油污金属，放到石英托盘上，打开腔门，把托盘和重油污金属放入真空等离子清洗体系腔体里面（确保放置位置水平，确保金属不易滑动），封闭腔门

第四步：点击触摸屏参数设定，设置清洗时间，按下启动键，大约30秒后辉光启动，调理功率旋钮和通入气体巨细（接空气）

第五步：等待清洗时间结束，泄压完结，打开腔门，用镊子取出清洗往后的金属样品，放到白纸上；

第六步：用移液枪慢慢地滴一滴蒸馏水到清洗后的重油污金属上，仔细调查水滴形状和铺展状况；

最后，比照试验成果，清洗前滴到金属表面的水滴是圆形的，形成一滴水珠，接触角大约90度，清洗前金属具有疏水性。清洗后，用移液枪把水滴滴到金属表面，水滴立刻铺展开，接触角显着变小，金属表面对水的铺展才能——即湿润性显着提升，说明该金属被等离子清洗之后亲水性进步，更“洁净”了。

等离子清洗设备保养

在实际生产中，我们发现PCB等离子清洗设备一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起等离子清洗设备达不到除胶效果的原因，例如反应腔、电极、托板架、气体的压力等。以下介绍了几个关键部位保养前后的效果以及如何进行保养。1.等离子腔体清洁等离子除胶时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重.

对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体导入N2和O2，用等离子体清除腔体内残余物，工作10min。
2.电极与托板架的保养翻新托板架和电极长时间使用后会附着氧化层，同时采用等离子体处理烃基材料时，一段时间后在托板架、电极，RF导电杆上会积累一层薄的烃基残留物，这些残留物和氧化层是无法用酒精擦拭掉的。应依据附着物的量对电极、托板架进行翻新维护能保证除胶的稳定。

清洗材料要求：氢氧化钠、硫酸、城市用水和蒸馏水。注意：不要使用手磨机、砂纸或磨蚀性喷砂处理等机械方法清洁；氢氧化钠溶液会与铝发生剧烈的化学反应，应小心谨慎以确保仅在所需的时间内清除沉积物；反应中会生成具有潜在爆炸性的氢气，因此工作区域应保持良好的通风。

电极的清洁翻新步骤（1）从真空箱内断开水和供电连接，然后切断电源并取下接地电极。（留意每个电极的初始位置，使它们在被清洁后能够安装在原来相同的位置上）；（2）保护好冰水机的进水口和出水口，在室温下将拆下的电极沉浸在10%的氢氧化钠溶液内。在沉浸时每2min检查电极一次，直到彻底除去残留物。实际清洁时间取决于积累在每个电极上的残留物数量。（3）用城市用水彻底冲洗电极3分钟。（4）将电极浸在硫酸和水（按重量为5%）的溶液中一分钟（不能干燥）后，立即进入下一步操作（这一步主要去除氧化层，干燥以后氧化层会再次附着，难以冲洗）。（5）用蒸馏水冲洗电极两次，每次3min。（6）使电极彻底干燥。（7）将电极安装在与原先的位置，如必要，更换绝缘体。（8）重新连接好箱内的水管和电力，翻新之后见图4。

4.托板架的翻新维护（1）需要将滚轮拆除后清洗，待清洗完成再次安装，滚轮不能使用氢氧化钠和硫酸浸泡清洗。（2）托板架沉浸在10%的氢氧化钠溶液中，沉浸时每2分钟检查托板架一次，直到彻底除去残留物，实际清洁时间取决于积累在每个托板架上的残留物数量。（3）使用城市用水彻底冲洗托板架3min。（4）将托板架浸在硫酸和水（按重量为5%）的溶液中一分钟后（不能干燥），立即进入下一步操作（这一步主要去除氧化层，干燥以后氧化层会再次附着，难以冲洗）。（5）用蒸馏水冲洗托板架两次，每次3min。（6）使托板架彻底干燥（建议用布先擦干）。（7）将托板架的滚轮安装，如必要，更换滚轮绝缘垫片。翻新后见图5。5. 腔体内气管、RF导电杆
腔体内气管也有不同程度的氧化，顺带保养电极的同时，一同保养（见图6）。同样参考了托板架保养2-6步骤。（注意：气管拆卸下来需将两端的口堵上，再进行清洗）

6.气体管道检查

使用气体质量流量控制器对机台气体质量流量控制器进行测量，并参照检测值校正机台气体质量流量控制器。

也可参照同腔体真空度检查（参考测试），关闭总阀之后检查显示O2、N2、CF4管道通道压力数值，如果发现数值有变化，用肥皂水喷在气体管道接口处观察，如有气泡出现，重新更换接头恢复正常。
7.冰水和热量转换系统保养冰水机和模温机检查，等离子除胶过程的温度控制在85°C，电极的热量转换液是通过模温机进行温度调节的。
实际运用中是使用纯水，还是会有不少的杂质和铝发生腐蚀性反应，所生成的水垢沉积物。水垢一旦过多铁氟龙水管和接头就会老化堵塞，PCB等离子设备除胶过程温度不稳定。定期检查热循环系统如发现老化，需及时更换铁氟龙水管和接头

8.冰水机一般是循环冰水使冷却液冷却的。它有两套水系统，一是循环冰水，二是芯冷却转换水；有两组过滤棉芯，任意一个过滤棉堵塞不流畅，都会出现冰水超温，真空泵都会超温，设备出现报警，必须定期检查并更换棉芯。

9.真空泵的保养查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，发现油位接近较低红线刻度，加油到红标线上下之间位置10.测试
（1）极限真空测试。手动检漏状态下，打开真空泵持续抽10min，纪录较低值4.0Pa/min≤6.0Pa/min，合格。（2）真空泄漏值测试。手动检漏状态下，打开真空泵持续抽10min，记录真空较低值，然后手动关闭抽真空电磁阀，同步打开检漏按钮，每分钟数值3.2Pa/min≤6.0Pa/min，合格。（3）咬蚀量测试：7~14mg/min合格。（4）均匀性测试：75%以上为合格。（5）运行测试：运行24h无异常。