等离子去胶机应用与功率选择

跟着我国科技的进步，等离子清洗机又称等离子去胶机在现代工业上高速开展，原因也很简略，挑选等离子去胶机是因为它操作简略、工作效率高、低成本、环保且去胶后表面光洁。下面为大家介绍等离子清洗机在运用中四大影响要素，希望对大家有所协助。

一、 调整合适的频率：

频率越高，氧越易电离构成等离子体。频率太高，以致等离子清洗机电子振幅比其平均自由程还短，则电子与气体分子磕碰概率反而削减，使电离率降低。通常常用频率为 13.56MHz及2.45GHZ 。

二、 调整合适功率：

关于必定量的气体，功率大，等离子体中的的活性粒子密度也大，去胶速度也快;但当功率增大到必定值，反应所能耗费的活性离子到达饱满，功率再大，去胶速度则无明显增加。由于功率大，基片温度高，所以应根据技术需求调度功率。

三、 调整合适的真空度：

恰当的真空度，可使电子运动的平均自由程变大，因此从电场取得的能量就大，有利电离。别的当氧气流量必守时，真空度越高，则氧的相对份额就大，发生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高，活性粒子浓度反而会减小。

四、 氧气流量的调整：

氧气流量大，活性粒子密度大，去胶速率加速;但流量太大，则离子的复合概率增大，电子运动的平均自由程缩短，电离强度反而降低。若反应室压力不变，流量增大，则被抽出的气体量也增加，其间尚没参加反应的活性粒子抽出量也随之增加， 因此流量增加对去胶速率的影响也就不甚明显。