低温等离子体由于其化学活性强，容易与固体表面反应，在工业上经常用于去除物体表面的污渍。反应机理主要分为以下过程：将无机气体激发成等离子体状态，气相材料吸附在固体表面，吸附基团与固体表面上的分子反应生成分子，这些分子被分解成气相，反应残留物从表面分离。该方法的最大特点是，无论加工对象如何，都可以实现对金属、半导体、氧化物和大多数聚合物化学材料或更复杂结构的部分或整体清洗，并且不会对材料表面造成任何损坏。因此，低温等离子清洗是一种绿色的表面清洗方法。
低温等离子清洗分类：
（1） 从反应类型来看，可以分为化学反应和物理反应。
前者是各种活性物质与污染物反应生成挥发性物质，然后由真空泵抽送。后者也称为溅射腐蚀或离子研磨，主要利用等离子体中的活性物质轰击和清洁表面，使污染物从表面分离，然后通过真空泵将污染物吸走。这两种清洗方法在工业上通常一起使用。
（2） 就激发频率而言，可分为激发频率为40KHz的等离子体、激发频率为13.56MHz的射频等离子体和激发频率为2.45GHz的微波等离子体。在实际的半导体生产和应用中，射频等离子体清洗和微波等离子体清洗被广泛使用。
（3） 根据反应气体的类型，可将其分为激发反应气体（如O2、H2等）产生的等离子体和激发惰性气体（如AR、N2等）产生的等离子体。前者是一种化学清洗方法，而后者是一种物理清洗方法。
低温等离子清洗应用：
低温等离子体清洗技术起源于20世纪初，工业的发展使离子清洗技术得到越来越广泛的应用，在大多数高科技领域发挥着重要的技术作用。近几十年来，低温等离子体清洗技术已迅速应用于半导体、光学、航空航天、汽车、化学聚合物和污染防治等许多技术领域。目前，等离子体清洗技术还应用于电子元件制造、多陶瓷外壳加工、微波管制造、LED封装和发动机油封粘接加工。
等离子清洗机清洗缺点有哪些
凡事都有两面性，有好的一面，就有不好的一面，有优点，就一定会有缺点。辩证法让我们看待事物都能一份为二的看待。等离子清洗机作为一种绿色的干式清洗方式，具有许多常规清洗方式没有的优点，但是它也有不足的地方，下面就一起来看看等离子清洗机有哪些缺点。
1.等离子清洗机不能用于去除物体表面的切削粉，尤其是在清理金属表面的油污时。
2.实践证明，等离子清洗机不能用来清除很厚的油污。虽然等离子清洗附着在物体表面的少量油污效果较好，但对厚油污的去除效果往往较差。一方面，用于去除厚油膜时，必须延长处理时间，以大大增加清洗成本。另一方面，也可能是在与厚厚的油污接触的过程中，会引起油污分子结构中不饱和键的聚合和偶联等复杂反应，形成坚硬的树脂三维网络结构——这种树脂膜一旦形成，就很难去除。因此，通常仅使用等离子清洗厚度小于几微米的油污。
3.在应用过程中，还发现等离子体清洗不能很好地去除附着在物体表面的指纹，指纹是玻璃光学元件上常见的污染物。等离子清洗并不能完全去除指纹，但需要延长处理时间。此时，我们不得不考虑这将对基板的性能产生不利影响。因此，应采取其他清洗措施配合预处理。结果清洗过程复杂。
4.等离子清洗存在一个明显的缺点就是，经过等离子清洗后的产品有明显的时效性，它会随着时间的推移慢慢恢复到清洗前的状态。因此经过等离子清洗的产品应该避免久放，应该尽早进入下一道工序，要么就在进去下一道工序前才进行等离子清洗。
5.对于一些精密电子元器件，不正确的等离子清洗可能会对产品表面产生溅射损伤。
6.另外真空等离子清洗机普遍比较昂贵，这也算等离子清洗机的一个缺点，并且真空等离子清洗机一般是批量处理，不易实现自动化。
在我看来等离子清洗机最大的缺点还是时效性的问题，这也是没有办法避免的问题。虽然这个短板很明显，但是这也不妨碍等离子清洗机的大量运用，对于很多工艺来说，处理完有效果能立马进入下一道工序，就不会影响正常使用。
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