等离子清洗机具体是洗什么?(等离子体清洗机厂家分享)
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子、电子、自由激进分子、光子以及中性粒子组成。是物质的第四态。 通常情况下,人们普遍认为的物质有三态:固态、液态、气态。区分这三种状态是靠物质中所含能量的多少。气态是物质的三个状态中最高的能量状态 。给气态物质更多的能量,比如加热,将会形成等离子体。当到达等离子状态时,气态分子裂变成了许许多多的高度活跃的粒子。这些裂变不是永久的,一旦用于形成等离子体的能量消失,各类粒子重新结合,形成原来的气体分子。
等离子体技术在本世纪六十年代起就开始应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域,在大规模或超大规模集成电路工艺干法化、低温化方面,在近年来也开发应用了等离子体聚合、等离子体蚀刻、等离子体灰化及等离子体阳极氧化等全干法工艺技术。等离子清洗技术也是工艺干法化的进步成果之一。 与湿法清洗不同,等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看,可能等离子体清洗也是所有清洗方法中最为彻底的剥离式的清洗。
等离子清洗机,又名电浆机,等离子表面处理设备。光从名称上来看,清洗并不是清洗,而是处理和反应。从机理上看:等离子清洗机在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。其中,物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质,从而达到清洗目的。
我们的工作气体,经常用到氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。在等离子清洗机过程中很容易对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等进行处理。这样以来让我们很容易联想到:去除零件上的油污,去除手表上的抛光膏,去除线路板上的胶渣,去除DVD上的水纹等等所延伸的领域大都能用等离子清洗机解决。
但是,“洗表面“才是等离子清洗机技术的核心,这一核心也是现在众多企业之所以选择三和波达等离子清洗机的重点。”洗表面“跟电浆机和等离子表面处理设备这两个名字密切相联。简单的来说清洗表面就是在被处理材料表面打出无数个肉眼看不到的小孔,同时在表面形成一个新的氧化层薄膜。这样以来大大增加了被处理材料的表面积,间接性的增加了材料表面的粘附性、相容性、浸润性、扩散性等等。而这些性能又恰当的应用在手机,电视,微电子,半导体,医疗,航空,汽车等各行各业中,为众多企业解决多年未曾解决的难题。
需要用到等离子表面处理技术应用在了哪些表面中?其具体作用是?
从我从事的半导体和部分工业产品领域给予阐述:
1、在需要进行粘合前,进行清洗改变表面张力。通过微波等离子源将根据工艺选择通入的反应气体(O2/H2/N2/Ar等)离子化,然后离子等物质和表面有机污染物发生化学反应,形成废气被真空泵抽出。被清洗材料表面达到清洗干净目的。经过测试,清洗前和清洗后的表面张力发生非常大的变化,有助于下一步打线或者粘结;
2、表面喷涂前对材料表面改性,改善喷涂效果。一些化学材料如PP或者其他化学材料,本身是疏水或者亲水。一样通过上述工艺气体通入,离子化,发生反应,将表面进行改性,使它变得亲水或疏水,便于下一步喷涂。
3、等离子还有一种喷涂技术和热喷涂图技术一起,主要为大件金属表面直接等进行喷涂,效率和效果非常好。不是我擅长领域可以自己查询相关信息。
纳米材料制备:石墨烯、碳纳米管、富勒烯、金刚石膜等。材料改性:高聚物,纺织品。半导体工业:新半导体材料、亚微米刻蚀。镀膜:pvd,cvd镀膜。可采用ECR方式。材料制备:发泡金属材料。环保:废烟、气、水处理。医药领域:医疗器材低温消毒。电子领域:LCD等电子零部件表面清洗。食品、医药化妆品工业有效成分萃取。植物种子、微生物菌改性,辅助催化。光学:平板显示。
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