等离子体清洗机种类：电晕等离子体清洗、大气常压等离子体弧清洗等

等离子体清洗的种类

按等离子体产生方式的不同,如图所示,等离子体清洗可以分为电晕等离子体清洗、辉光等离子体清洗、射频等离子体清洗、介质阻挡等离子体清洗、微波等离子体清洗和大气常压等离子体弧清洗。其中,电晕等离子体清洗、辉光等离子体清洗和射频等离子体清洗一般用作低压清等离子体清洗,而等离子体清洗、微波等离子体清洗和大气常压等离子体弧清洗则作为常压等离子体清洗。

电晕等离子体清洗 

运用曲率半径很小的电极,在其上加上高电压,由于电极的曲率半径很小,挨近电极区域的电场特别强,简略构成电子发射和气体电离,然后构成电晕。该办法不易获得安稳的电晕放电,易发作部分电弧放电、放电的能量不均匀,用于烟气脱硫脱硝、轿车尾气的清洗等领域。

辉光等离子体清洗 

在低气压条件下,将必定的电压加到两个平板电极上即可构成辉光放电,是一种安稳的自我按捺放电,其放电电流的巨细为毫安数量级。是靠正离子炮击阴极所发作的二次电子发射来坚持。电源可为直流也可为交流。虽然能发作典型的大体积强激起低温等离子体,但其作业气压太低,工业运用难于连续生产且运用本钱昂扬。现在的运用规划首要用于半导体工业上的清洗。

射频等离子体清洗 

射频放电通常在低气压下操作,也可以在常压甚至加压下操作,其特征是放电气体 不与电极接触。射频放电运用高频电场一经过电感祸合或电容祸合使反响器 中的气体放电发作等离子体,较常用的频率是。由于射频单电极放电的能量高、规划大,现在现已被运用于资料的表面处理和有毒废物的根除和裂解中。

DBD等离子体清洗 

在两个放电电极之间布满某种作业气体,并将其间一个或两个电极用绝缘介质掩盖, 也可以将介质直接悬挂在放电空间或选用颗粒状的介质填充其间,当两电极间施加足够高的交流电压时,电极间的气体会被击穿而发作放电,即发作了介质阻遏放电。介质阻遏放电可以在高气压和很宽的频率规划内作业。在实践运用中,平板式电极结构则被广泛的运用于工业中的高分子和金属薄膜及板材的改性、接枝、表面张力的行进、清洗和亲水改性中。

微波等离子体清洗 

微波放电是一种无电极放电,然后避免了放电资料对反响的影响。可以在较宽的频率规划和气体压力规划内操作,并且可以生成均匀的较大体积的非平衡等离子体。微波放电的频率是一,较常用的是。微波等离子体首要用来加工、改造 和精制资料表面以及东西、模具及工程金属的硬化处理。

APPA清洗 

大气常压等离子体弧清洗是运用较高能量密度的等离子束直接作用于制件表面,待清洗层在高能粒子的活化作用下,发作一系列物理化学反响,如热冲击、活化分解以及 热胀掉落,终究抵达使污染物与工件脱离的意图。选用不同的作业气体种类,可处理不同的表面污染物。如混合等离子体可清洗基体表面有机污物、混合等离子体可清洗基体表面氧化锈蚀物。

作为等离子体清洗的一种常压清洗技术,大气常压等离子体弧清洗除具有等离子体清洗技术的上述特征外,还具有本身特有的优势既代表表面清洗技术的少能耗、低污染的翻开趋势,又能与计算机控制相结合,结束自动化清洗既脱节工件几许标准和空间方位的绑缚,又能结束有挑选地清洗基体指定表面区域既削减设备出资、下降作业费用,又能经过调控工艺参数确保甚至行进表面清洗质量既能运用于微电子、半导体等高新产业,也能结束轿车、船只、机械、航空航天等制造业中零部件表面污染物的有用清洗。

深化研讨等离子体清洗技术尤其是大气常压等离子体弧清洗技术,对促进表面工程的翻开、拓宽等离子体弧的运用领域、行进机械制造业产品的质量、处理日益严重的环境污染问题等都具有重要意义。正是认识到等离子体清洗技术的重要研讨价值和在 轿车、航空航天、机械等工作中的广大运用前景。