等离子清洗机大概由电源，匹配器，腔体,电磁阀,流量计,外部气体，真空泵,控制电路组成。当出现故障报警的时候我们应该先根据屏幕报警提示去查看是哪个部位出现了报警，这样就确定了故障所存在的大概部位,然后查看相关部位的各个执行机构是否出现异常。控制电路的故障最直观最简单的方法就是万用表去检测，检测是否存在短路或断路显现，检测电压电流是否正常。如果在没有万用表的情况下要排除故障,最快速的方法就是替代法了，先根据屏幕提示大概确定故障存在的部位,然后拿相同的元器件进行替换，如果是电器元件,如交流接触器，热过载，中间继电器，相序保护器，流量计等元件故障的话这样就很快解决了问题。
如果是气体欠压报警,就得确认相关气体进气口是否有气体接入，气体的压力以及调压阀、流量计、电磁阀、模拟量接线是否都OK，屏幕参数的相关参数设置是否都正确。真空度过高或过低报警时首先得看参数设置，当真空度过高切参数设置OK时就得查找腔体及管道是否漏气、真空泵抽空压力是否正常，最快速的办法就是用设备自带的真空度测量仪直接接在真空泵上面测量真空泵的抽空值是否能达到标准，如果真空泵的抽空值正常就就说明真空泵是没问题的，把测量仪再接到抽空管道上面测量，测量发现抽空值如果比直接接在真空泵上面高的多时则证明抽空管道漏气。
管道漏气有可能是管道接头处漏气或者是管道破损漏气。此抽空管道虽然是金属不锈钢材质的，但是如果每次抽空时管道因为抽空而抖动与周边某个部位产生摩擦，时间久了，管道也会出现磨损磨破的显现。如果测量仪接在抽空管道上面测量与直接接在真空泵上面测量的真空值无明显区别时则说明抽空管道也是好的，接下来只有在腔体密封性上面查找漏气部位了，腔体可能出现漏气的部位是密封条、玻璃窗、抽空接头与外部链接部位、电极-与腔体外部链接部位、腔体破空与外部链接部位,最容易出现漏气的部位要属密封条和玻璃窗了。
电源和匹配器的故障也会在故障触发时在屏幕报警窗口示相关提示信息,但有时也会因为参数设置等原因触发误报信息，这个要根据情况而分析。当电源或者匹配器出现故障时首先确定参数设置都是正确的，再检查接线线路及设定功率输出的电压信号是否都正确合理、匹配器和电源之间的串口通讯是否正常,然后手动调试，如果调试匹配器的参数，按下增减按钮时相关参数无明显变化，则说明匹配器故障，调节电源功率大小时，电源功率输出无变化则说明电源故障。
在线等离子清洗机的具体维护:
1.自检真空泵油位和油的纯度，每月自检真空泵油位和油的纯度，观察油位窗口。当油位接近最低红线刻度时，添加到油红标线上下之间；观察油的颜色。正常油干净透明。当油浑浊(油颜色变灰或油位窗口模糊)，真空泵噪音异常时，及时更换真空体油。
2.在线等离子清洗机清洗反应室。先用脱脂棉布沾上无水乙醇(俗称酒精)擦拭真空腔(不要用乙醇擦拭反应腔观察玻璃)。第二腔导入气体(氩+氧或氮+氧)，用等离子反应清除腔内残留物。每月至少除理一次，除理时段约为10分钟。
3.等离子清洗机要查塑料管子的完好性和真空体密封性，自检设备的完好性。完全清洁反应室后，应避免污染物泄漏到空腔中。自检反应室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否连接紧固，是否老化。
4.查电源的真空等离子清洗机，电压是否与设备匹配。
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