等离子清洗机工艺气体选择

等离子清洗机常用的工艺气体有氧气 (Oxygen, O2)、氩气 (Argon, Ar)、氮气 (Nitrogen, N2)、压缩空气 (Compressed Air, CDA)、二氧化碳 (Carbon, CO2)、氢气（hydrogen, H2）、四氟化碳（Carbon tetrafluoride, CF4）等。

1 氧气

氧气是等离子清洗常用的活性气体，归于物理+化学的处理方式，电离后发作的离子体能够对外表进行物理轰击，构成粗糙外表。一起高活性的氧离子能够与被断键后的分子链发作化学反响构成活性基团的亲水外表，抵达外表活化的目的；被断键后的有机污染物的元素会与高活性的氧离子发作化学反响，构成CO、CO2、H2O等分子结构脱离外表，抵达外表清洗的目的。

氧气主要运用于高分子资料外表活化及有机污染物去除，但不适用于易氧化的金属外表。

真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色，部分放电条件下相似白色。放电环境光线比较亮，肉眼查询时可能会呈现看不到真空腔体内有放电的状况。

2 氢气

氢气与氧气相似，归于高活性气体，能够对外表进行活化及清洗。氢气与氧气的差异主要是反响后构成的活性基团不同，一起氢气具有还原性，可用于金属外表的微观氧化层去除且不易对外表敏感有机层形成损坏。所以在微电子、半导体及线路板制作行业运用较广。

因氢气为危险性气体，未被电离时与氧气汇合会发作自爆，所以在等离子清洗机中一般是阻止两种气体混合运用的。

真空等离子状态下氢等离子呈赤色，与氩等离子相似，要相同的放电环境下比氩等离子颜色略深。

3 氮气

氮气电离构成的等离子体能够与部分分子结构发作键合反响，所以也是一种活性气体，但相对于氧气和氢气而言，其粒子比较重，一般状况下在等离子清洗机运用中会把此气体界定在活性气体氧气、氢气与惰性气体氩气之间的一种气体。在清洗活化的一起能够抵达必定轰击、刻蚀的效果，一起能够避免部分金属外表呈现氧化。

氮气与其他气体组合构成的等离子体一般会被运用于一些特别资料的处理。

真空等离子状态下氮等离子

也是呈赤色，在相同的放电环境下，氮等离子会比氩等离子和氢等离子更亮一些。