等离子清洗机设备运行中电源偏差过大的原因及解决方法!
手动方式:
1. 按照要求连接系统
2. 将电源切到手动状态
3. 手动调节Ca /Cb位置,达到匹配状态。
自动方式:
预置下的自动方式:适用于点火位置和匹配位置相差较大的系统
1. 按要求连接系统
2. 切换到预置、自动、运行状态
3. 在自动状态和预置状态下,射频关,调节Ca Cb位置,使其处于点火位置
4. 开射频
5. 自动匹配
保持下的自动方式:适用于点火位置和匹配位置相差不大系统
1.按要求连接系统
2.切换到保持、自动、运行状态
3.开射频
等离子清洗机的基本知识与清洗原理
等离子清洗
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、涂覆、光刻胶灰化等目的。
等离子清洗机,大部分人可能会感觉很陌生。事实上,等离子清洗机通过对样品表面进行改性(亲水性),同时除掉表面有机物,使多种材料之间能够进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作。从研究开发到工艺生产使用,从表面微细加工到表面处理改质效果都非常好,应用广泛。
等离子清洗机的原理是什么?
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
1、常压(大气等离子清洗机)给它接入气体与能量,气体压力达到0.2mpa左右、与足够的能量,通俗来讲就是高频高压产生等离子体。再通过等离体子体轰击被清洗产品表面,以达到清洗目的。优点:(大气型快速量产)
2、(真空等离子清洗机)原理也是一样的,在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品面,以达到清洗目的。优点:(真空型精密全面)
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