等离子清洗机会使用各种气体，表面清洗和活化通常会使用氧、氢、氮和压缩空气，但根据工艺要求也会使用氩气。那么为什么要使用这种气体，以及它在等离子清洗机中的主要作用是什么？
氩气是一种惰性气体，电离后产生的离子体与基体不发生化学反应。在等离子体清洗中，氩主要用于基体表面的物理清洗和表面粗化。因此，氩气等离子清洗机广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等行业。
一、表面清洁 在晶圆、玻璃等产品的表面颗粒去除过程中，通常采用等离子体对表面颗粒进行轰击，以实现颗粒的分散和松动，然后再进行离心清洗等工艺。尤其是在半导体封装过程中，完成打线工艺后防止导线氧化，是采用氩等离子体或氩氢等离子对表面进行清洗。
二、表面粗化 等离子清洗机的表面粗糙也称为表面刻蚀，目的是提高材料的表面粗糙度，从而增加材料的粘接、印刷和焊接。活性气体处理过后也可以增加表面张力，但氩离子化产生的颗粒相对较重，在电场作用下氩离子的动能明显高于活性气体，因此其粗化效果更明显，在无机物表面粗化过程中应用最广泛。如玻璃基材表面处理、金属基材表面处理等。
三、活性气体辅助 在等离子清洗机的活化和清洗过程中，混合工艺气体相对来说会取得较好的效果，由于氩的分子量较大，电离后产生的颗粒比较后，当表面清洗和活化通常与活性气体结合时效果较好，最常见的是氩和氧的混合物。
真空等离子清洗机的原理
表面处理技术是指利用等离子体表面处理机处理表面、涂层、uv涂层或薄片材料进行一定的物理化学改性，提高表面的附着力，使其可以轻松粘结。通过等离子体表面处理，材料表面有许多物理和化学变化。对表面进行了清洁，去除油脂、碳氢等化合物，或形成蚀刻和粗糙，或形成致密交联层，或引入含氧极性基团（羟基、羧基），这些基因用于各种涂层材料，以促进其粘附，在应用时改善表面。
在相同的效果下，通过真空等离子清洗机处理可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于粘接、涂层和印刷。不需要其他机器、化学处理等来增加附着力。
1.真空等离子清洗机处理后的表面，无论是晶圆、金属还是玻璃，都可以提高表面能量，产品的表面状态完全能够满足后续涂层、粘接等工艺的要求。
2.真空等离子清洗机技术具有广泛的应用，使其成为工业界广泛关注的核心表面处理技术。利用这种创新的表面处理技术，可以实现高质量、高可靠性、高效率、低成本和环保。
3.真空等离子清洗机体态（等离子体态）被称为物质的第四态，我们知道向固态中添加能量可以使其成为液态，向液态中添加能量可以使其成为气态，给气态增加能量则能变成等离子态。
4.真空等离子清洗机在印刷包装行业的应用，可以大大提高胶粘强度，降低成本，胶粘质量稳定，产品一致性好，无灰尘，环境清洁。
真空等离子清洗机原理包括：
物理变化：清除表面去胶油污灰尘等物质，起到洁净的作用，不像洗洁精一样清除油污和污渍。 化学变化：离子束刺激产物的表面分子结构，分子链断裂，自由状态改变，使得在印刷和喷涂过程中捏合力增强。
活化：增加表面的润湿性，形成活性表面 清洁：清除灰尘油污静电等污染物 涂层：用于处理表面提供提高功能性表面
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