1,自检真空泵油位和油的纯度,每月自检真空泵油位和油的纯度,调查油位窗口。当油位挨近Z低红线刻度时,添加到油红标线上下之间;调查油的色彩。正常油洁净通明。当油浑浊(油色彩变灰或油位窗口模糊),真空泵噪音异常时,及时更换真空体油。
2,在线等离子清洗机清洗反响室。先用脱脂棉布沾上无水乙醇(俗称酒精)擦洗真空腔(不要用乙醇擦洗反响腔调查玻璃)。第二腔导入气体(氩+氧或氮+氧),用等离子反响铲除腔内残留物。每月至少除理一次,除理时段约为10分钟。
3,等离子清洗机要查塑料管子的完好性和真空体密封性,自检设备的完好性。彻底清洁反响室后,应避免污染物走漏到空腔中。自检反响室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否衔接紧固,是否老化。
4,查电源的真空等离子清洗机,电压是否与设备匹配。
在线等离子清洗机的详细保护:
1,自检真空泵油位和油的纯度,每月自检真空泵油位和油的纯度,调查油位窗口。当油位挨近Z低红线刻度时,添加到油红标线上下之间;调查油的色彩。正常油洁净通明。当油浑浊(油色彩变灰或油位窗口模糊),真空泵噪音异常时,及时更换真空体油。
2,在线等离子清洗机清洗反响室。先用脱脂棉布沾上无水乙醇(俗称酒精)擦洗真空腔(不要用乙醇擦洗反响腔调查玻璃)。第二腔导入气体(氩+氧或氮+氧),用等离子反响铲除腔内残留物。每月至少除理一次,除理时段约为10分钟。
3,等离子清洗机要查塑料管子的完好性和真空体密封性,自检设备的完好性。彻底清洁反响室后,应避免污染物走漏到空腔中。自检反响室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否衔接紧固,是否老化。
4,查电源的真空等离子清洗机,电压是否与设备匹配。
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