等离子清洗机种类（等离子清洗设备分类）

首要，咱们来了解一下，等离子清洗机的装备都有哪些，Z为根底的等离子清洗设备包括四个首要部件：激发功率、真空泵、真空室、反响气源。鼓励源是为气体放电提供能量的电源，可采用不同的频率；真空泵的首要作用是抽除副产物，包括旋片式机械泵或增压泵；以及在真空腔中带放电电离的电极。反响性气体转化为等离子体，反响气体通常是由氩、氧、氢、氮、四氯化碳等单一气体，或两种气体混合。等离子清洗的功效首要取决于多种要素，包括化学性质的挑选，工艺参数，功率，时间，部件放置和电极结构。各种清洗用处所需的设备结构不同，电极接法、反响气体品种不同，其工艺原理也有很大差异，有的是物理反响，一些为化学反响，另一类是物理化学作用，而反响的有效性则依赖于等离子体气源、等离子系统的组合和等离子加工操作参数。

等离子体腐蚀、等离子去胶在半导体制程中较早采用等离子去胶，用常压辉光冷等离子体产生的活性物质来清洁有机粘污和光刻胶，是替代湿化学清洗的一种绿色方法。

1、化学为主清洗，在清洗进程中，外表反响首要是化学反响等离子体清洗，习惯上称为等离子清洗，许多气体的等离子态都能产生高活性颗粒。由化学式可知，典型的PE工艺为氧或氢等离子体工艺，通过与氧等离子的化学反响，可将非挥发性有机物转化为易挥发的CO2和水汽。除掉污垢，使外表洁净；

使用离子氢气可以通过化学反响除掉金属外表的氧化层，清洁金属外表。由反响性气体离子化产生的高活性反响颗粒，在必定条件下，它与被清洗物的外表产生化学反响，其生成物为易挥发物质，可被抽除；而关于所铲除气体的化学成分，挑选恰当的反响气体组分至关重要。PE具有外表改性、清洗速度快、挑选性好、对有机污染等长处。缺点在于可能会产生氧化物。

2、物理反响首要是清洗，其外表反响首要为物理反响的等离子体清洗，又称溅射腐蚀和离子铣IM。外表物理溅射是等离子体中的正离子在电场作用下获得能量以轰击外表，与外表分子片断和原子产生磕碰，使污染物质从外表除掉，而且能使外表在分子级范围内改动微观形状粗糙化，从而改进外表的粘结性。

氩自身是一种惰性气体，等离子态的氩气不与外表反响，其进程为氩等离子通过物理溅射来净化外表。等离子体物理清洗不会产生氧化副反响，坚持被清洗物化学纯洁，腐蚀各向异性，缺点是对外表有很大的损害和热效应，挑选性差，速度低。

如今，弹力资料中含有许多油漆浸渍损害的物质，这是用传统湿法无法独自去除的。软化剂和脱模剂能从弹性体主体向外表搬迁，从而引起昂贵的质量问题。等离子体清洗，去除漆膜及障碍物，发现并铲除有机硅污染物，改进各种塑料粘合性能，可以改进高分子资料的外表潮湿性。