等离子发生器低温等离子体的发生技能
1、等离子发生器按等离子焰温度分：
（1） 高温等离子体：温度相当于108~109K完全电离的等离子体，如太阳、受控热核聚变等离子体。
（2）低温等离子体：
等离子发生器热等离子体：稠密高压（1大气压以上），温度103~105K，如电弧、高频和燃烧等离子体。
等离子发生器冷等离子体： 电子温度高（103~104K）、气体温度低,如淡薄低压辉光放电等离子体、电晕放电等离子体、DBD介质阻挠放电等离子体、索梯放电等离子体等。
2、等离子发生器按等离子体所在的状态：
（1）等离子发生器平衡等离子体：气体压力较高，电子温度与气体温度大致相等的等离子体。如常压下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。
（2）等离子发生器非平衡等离子体：低气压下或常压下，电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下DC辉光放电和高频感应辉光放电，大气压下DBD介质阻挠放电等产生的冷等离子体。
等离子发生器低温等离子体的发生技能
直流辉光放电等离子发生器
低频放电等离子体等离子发生器
高频放电等离子体等离子发生器
非平衡大气压等离子体放电等离子发生器
介质阻挠放电等离子发生器
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