等离子表面处理对ITO薄膜的影响

利用原子力显微镜检测ITO薄膜的微观外表描摹以及微观区域电功能，研讨氧等离子处理对ITO薄膜的外表描摹及导电功能的影响，从微观上讨论氧等离子处理对ITO薄膜的影响。经过氧等离子体处理，ITO薄膜的平均粗糙度从4.6 nm减小到2.5 nm，薄膜的平整度得到提高;但氧等离子体处理之后，ITO薄膜的导电功能大大下降,原因在于ITO薄膜外表被进一步氧化使得ITO薄膜外表的氧空位减少。

上述成果从微观上解释了氧等离子处理能够改进有机发光二极管光电功能的原因。