等离子清洗机的运用流程和维护

等离子清洗机所需用的等离子体主要是利用特有的气体分子在真空泵、自放电等特有公共场合下构成，像低压气体辉光等离子体。其程包含：即将清洗的样品放进真空腔内，运转真空泵等设备进行抽空排气到20Pa左右的真空度；然后向真空室通入等离子清洗用的工艺气体(根据等离子处理的样品原料的差异及处理意图的不同，选用的工艺气体 也不同，通常有氧气、氢气、氩气、氮气等)；在真空腔体里，经过射频电源在必定的压力情况下起辉发生高能量的无序的等离子体，经过等离子体炮击被清洗产品表面以达 到清洗意图；清洗过程会继续几十秒到几分钟，详细时间根据处理要求而定。

注意事项：

1、要定时做维护保养和维修保养。在对等离子清洗机做维护保养和维修保养的时分，要先把机器设备的开关电源关掉，不能带电操作，防止呈现意外。

2、在运用等离子清洗机的时分，要依照设备的运用手册操作，对它运作时的主要参数做恰当的设定，不可以随便地设置。

3、在运用沛沅Pluto系列等离子清洗机的时分，如呈现特殊情况需要紧迫中止，可按一键急停按钮。如无特殊情况，按正常操作流程操作。

4、对实际操作的操作人员需要做相应的设备运用训练，严厉按照操作流程标准运用。