真空在线式等离子清洗机（真空在线式等离子清洗设备）

真空在线式等离子清洗机（真空在线式等离子清洗设备）

序号	型号	AV-P4
1	外形尺寸	长×宽×高＝2140mm×1340mm×1760mm
2	反应仓尺寸	长×深×高＝320mm×610mm×50mm
3	等离子体发生器	频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配
4	气路系统	标准配置2路（O₂\Ar/H₂），质量流量计控制，气体 流量0-200ml/min可调
5	控制系统	触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动 2种操作
6	收料尺寸	长150-270mm,宽35-95mm 7 效率 4道4片，约500片/小时
7	效率	4道4片，约500片/小时
8	应用工艺	集成电路IC封装工艺LED封装工艺

产品特点：

性价比高，可通过组件和载具进行形式转换，兼容不同形状大小的料片。

自动化程度高，全自动方式减少了人为因素，降低二次污染并节约了人力成本。

设备清洗后其表面活性明显增强，均匀性和粘结力显著提升。

屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控。

配备故障报警功能，可提示故障项目，便于发现和维修。

配备自动取片、传输、送片等其他方面的功能。