真空等离子清洗机真空泵的作用

真空等离子清洗机真空泵的作用

真空（低压）等离子清洗机（PLASMA）是一种依托处于“等离子态”的物质的“活化效果”即等离子活化，来去除物体外表污渍的一种清洗设备。它归于电子工业清洗中的干法清洗，进程中需求真空泵制造必定的真空条件满足清洗所需，等离子清洗所需求的等离子体主要经过特定的气体分子在真空、放电等特殊场合下发作，像低压气体辉光等离子体。简略地如开头说，等离子清洗需求在真空状态下进行（一般需保持在100Pa左右），所以需求真空泵进行抽真空作业。

其主要进程包含：首先将需求清洗的工件送入真空室固定，发动真空泵等设备开端抽真空排气到10Pa左右的真空度；接着向真空室引进等离子清洗用的气体（根据清洗材质的不同，选用的气体也不同，如氧气、氢气、氩气、氮气等），并将压力保持在100Pa左右；在真空室内的电极与接地设备之间施加高频电压，使气体被击穿，并经过辉光放电使其发作离子化，发作等离子体；在真空室内发作的等离子体完全覆盖被清洗工件后，开端清洗作业，清洗进程会继续几十秒到几分钟。整个进程就是依托等离子体在电磁场内空间运动，并炮击被处理物体外表，大多数的物理清洗进程需求有高能量和低压力。在炮击待清洗物外表以前,使原子和离子到达较大的速度。 因为要加速等离子体,所以需求高能量,这样等离子体中的原子和离子的速度才能更高。需求低压力是为了在原子之间磕碰前增加它们之间的平均距离,这个距离指平均自由程,这个路径越长,则炮击待清洗物外表的离子的概率越高。然后到达外表处理、清洗和刻蚀的效果（清洗进程某种程度就是细微的蚀刻工艺）；清洗完毕后，排出汽化的尘垢及清洗气体，一起向真空室内送入空气康复至正常大气压。

清洗进程中，在真空泵操控真空室的真空环境时，气体的流量决定了发光色度：如果色度较重，阐明真空度低，气体流量较大；而偏白时，则是真空度过高，气体流量较小；详细需求根据所需的处理效果，来确认真空泵要完成的真空度。

真空等离子清洗机作为一种精细干法清洗设备,适用于混合集成电路、单片集成电路管壳和陶瓷基板的清洗;应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、硅片 刻蚀后、真空电子、连接器和继电器等职业的精细清 洗,可去除金属外表的油脂、油污等有机物及氧化层。 还可应用于塑料、橡胶、金属和陶瓷等外表的活化以及生命科学实验等。