因为等离子体放电可以产生具有化学活性的物质,等离子体处理技术被广泛用到各种领域,这种技术可以改变材料的表面特性,具有不可替代性。航空航天、汽车制造、钢铁冶炼、生物医学以及有害废弃物处理等等,在这些领域中,通过利用等离子处理技术,可以制造出具有特殊结构和表面特性的材料,这种效果是用其他商业技术手段无法实现的。
等离子技术利用不同工艺气体的转化分解来达到清洗、刻蚀、活化等各种效果,在气体转化过程中,等离子体会不断放电,如氟原子和二氟化碳分子可以用来刻蚀二氧化硅,氧原子还可以用来刻蚀光刻胶,而氟原子则可以用来刻蚀铝,当这些元素被刻蚀后,这些生成物则具有挥发性,这种情况下,被刻蚀活化后的废弃物,再利用等离子清洗机真空泵将其抽取后,则达到了物体表面被清洗、刻蚀的效果。
对于制造业来说,等离子体处理技术起着不可以替代的作用。
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