真空等离子清洗机的溅射现象（真空等离子表面清洗设备溅射影响）

真空等离子清洗机的溅射现象（真空等离子表面清洗设备溅射影响）

当使用容性耦合放电的真空低压等离子表面清洗机对材料进行等离子表面处理时，只要选用的气体是惰性气体，就会发生一定的溅射现象，这与直流辉光放电还是交流高频放电其实并没有关系，那么溅射现象对等离子清洗机所处理的产品会有影响吗？

真空等离子表面处理机所产生的溅射现象一般较为微弱，而微弱的溅射现象对普通的产品或材料而言，并不会对材料的基体特性产生影响，但如果所处理的产品对处理要求较为严格，如医用相关产品，就会对溅射现象的程度有所要求，一般为溅射越少越微弱是越好的。

我们接着从真空低压等离子清洗机的电极结构来先了解一下溅射，容性耦合的射频真空等离子表面处理设备，基本都会使用铝合金作为电极，这是主要是考虑到铝自身良好的散热性能和对等离子体的耐候性，而即便是铝，在长期的等离子轰击下，电极表面仍会有铝原子逃逸出来。

也正因为射频溅射会将金属粒子轰击出来，而被轰击出来的这部分金属粒子可能会附在产品的表面造成污染，进而影响产品，如医用高分子材料表面附着金属原子，会对人体造成安全隐患；半导体引线框架则会因为金属的注入，而影响其打线的质量……

因此，为减少乃至避免射频溅现象，那么就需要对低压真空等离子清洗机的腔体结构、电极板冷却、工艺参数等方面进行调整和优化，关于这部分的内容，我们之后再进行探讨。下图为电极板带水冷的射频低压真空低压等离子清洗机放电状态。